Vakuuminis siurblys yra siurblio įtaiso tipas, kuris siurbia dujų daleles iš sandaraus tūrio, kad paliktų dalinį vakuumą. Pirmąjį vakuuminį siurblį 1650 m. išrado Otto von Guericke'as, o prieš jį buvo įsiurbiamas siurblys, kuris datuojamas senovėje.
Siurbliai gali būti plačiai suskirstyti pagal tris metodus: teigiamą poslinkį, impulso perdavimą ir įstrigimą. Teigiamo tūrio siurbliai naudoja mechanizmą, leidžiantį pakartotinai išplėsti ertmę, leidžiant dujoms tekėti iš kameros, užsandarinti ertmę ir išmesti ją į atmosferą. Impulso perdavimo siurbliai, dar vadinami molekuliniais siurbliais, naudoja didelio greičio tankaus skysčio čiurkšles arba dideliu greičiu besisukančius peilius, kad išmuštų dujų molekules iš kameros. Sulaikantys siurbliai surenka kietas arba adsorbuotas dujas; tai apima kriosiurblius, geterius ir jonų siurblius su vakuumine alyva
Vakuuminiu siurbliu vadinamas įrenginys vakuumui sukurti, palaikyti ir padidinti.
Naudojama daug rūšių įvairiais fizikiniais ir cheminiais principais veikiančių siurblių. Vakuuminiai siurbliai gali skirtis tiek savo veikimo fizikiniais pagrindais, tiek ir slėgių intervalu, kuriame jie efektyviai veikia. Tarptautinis standartas ISO 3529/2 klasifikuoja vakuuminius siurblius pagal jų veikimo principą.
Pagal veikimo principą siurblius skirstysime į dvi grupes :
Pirmieji – patenkančias į juos vakuumuojamo objekto dujas perkelia jas suslėgdami kito siurblio link arba galiausiai išmeta jas į atmosferą. Dujas sulaikantieji siurbliai dujų nepašalina – jie jas sulaiko panaudodami tam įvairius fizikinius principus, pavyzdžiui, jas sušaldydami savo paviršiuje iki kieto būvio, chemiškai surišdami dujas su specialiai tam skirtomis medžiagomis, absorbuodami ir t.t.
Dujas pernešantieji siurbliai savo ruožtu pagal savo veikimo principą skirstomi į dvi grupes:
Tūrinio veikimo siurblių tūris per įėjimo angą užpildomas šalinamomis dujomis.
Periodiškai izoliavus nuo įėjimo angos šios dujos daugelyje siurblių suspaudžiamos ir pernešamos išėjimo angos link, per kurią pašalinamos.
Kinetiniuose vakuuminiuose siurbliuose dujoms ar jų molekulėms kryptingo judėjimo greitis suteikiamas tokiais būdais, kad jos nenutrūkstamai juda nuo įėjimo angos išėjimo link.
Išskiriamos trys tokių siurblių grupės: