© 2021 UAB "Mechanica"
© 2021 UAB "Mechanica"
Perfluorpolieterio (PFPE) šeimos tepalai yra nedegūs, chemiškai inertiški ir termiškai stabilūs. PFPE difuzinių siurblių skysčiai pasižymi puikiomis tepimo savybėmis ir yra įvairių klampumo klasių, tinkamų naudoti visuose vakuuminiuose siurbliuose. Tinkamai filtruojant, skysčiai užtikrina išskirtinai ilgą tarnavimo laiką. Įleidžiamas pakaitalas ir tiesioginis kitų PFPE prekės ženklo vakuuminių alyvų atitikmuo, skysčiai yra visiškai maišomi su Fomblin®, Krytox® ir kitais tos pačios rūšies inertiniais PFPE skysčiais.
Aukščiausios kokybės sintetinio perfluorpolieterio (PFPE) mechaninio vakuuminio siurblio skysčiai, kurie yra pasirinkimo produktas, kai reikalaujama visiško nedegumo, suderinamumo su deguonimi ir atsparumu agresyvioms cheminėms medžiagoms.
Dėl žemo garų slėgio ir galimybės jį regeneruoti tai yra puikus pasirinkimas plazmos, CVD ir kitoms puslaidininkių operacijoms. Šie sintetiniai tepalai užtikrina puikų našumą ir pailgina tarnavimo laiką kaip tepalai ir sandarikliai :
Rūšis |
Klampumas prie 20ºC, mm2 /s |
Tankis, prie 20ºC, kg/m3 |
Stingio temperatūra, ºC |
Garų slėgis, torr |
Panaudojimas, savybės |
IKV Zarox OYN 2 keičia seną Krytox 1506
IKV Zarox OYN 4 keičia seną Krytox 1514
keičia seną Krytox 1525 |
62
142
261 |
1880
1890
1900 |
-60
-54
-48 |
4 x 10-7
2 x 10-7
1 x 10-7 |
PFPE inertiškos vakuumo alyvos.Perfluoroto polieterio pagrindo inertiškos ir stabilios difuzinės alyvos. Išlieka stabilios pumpuojant agresyvius Lewis, halogenizuotas, stipriausio hidrotumo rugštis, halogenus, uraną, heksafluoridą ir pan. Nedegios bet kokiomis sąlygomis. Ideliai tinka pumpuoti deguonį, ozoną, silanus, fosfiną. |
PFPE tepalai, perfluoruotos alyvos
ZAROX OYN 7
is a non-flammable, colourless and odourless perfluoroalkyl-polyether-type oil. It is totally inert physically and chemically in the event of aggression by all kinds of liquid or gaseous products (except for fluorinated solvents) and thermal and ionising radiation.
Diffusion pump maintenance
It is recommended to keep logbooks for diffusion pumps to track maintenance history, and operational manuals to ensure maintenance is done per the manufacturer’s recommendations. During maintenance activity, the surfaces inside the vacuum diffusion pump need to be kept very clean in order to avoid contaminating the vacuum chamber. Even a single fingerprint can outgas water vapor and other molecules. When a pump is disassembled for routine maintenance and cleaning, it should be purged with dry nitrogen just prior to use. When a diffusion pump is pumping at a slower than normal rate, look for outgassing of moisture on the surfaces of plastics or other volatile substances or a leak. Check the condition and level of the fluid when the pump is cold. Withdraw a sample through the drain and visually check the level of fluid through the sight glass. Use new o-ring gaskets when replacing fill and drain plugs. During maintenance intervals, if there is diffusion pump oil loss, log the amount. This loss of fluid can be caused by: • Air leaking into the pump • Inadequate water cooling • Continuous operation in the overload inlet pressure range, also referred to as the “knee” of the curve. • Failure to insert the foreline baffle in the pump assembly. The recommended frequency at which the diffusion pump fluid should be changed depends on the specific process. Slight discoloration of the fluid does not affect pump performance but material build-up can lead to inefficient heat transfer.